Hệ Thống Van PFA HPRAY: Giải Pháp Đóng Cắt Và Điều Tiết Dòng Chảy Hóa Chất Siêu Tinh Khiết Cho Ngành Bán Dẫn

Van PFA HPRAY do SDT Group (Công ty TNHH Hỗ Trợ Phát Triển Công Nghệ SDT) phân phối chính hãng tại Việt Nam là dải thiết bị kiểm soát dòng chảy chuyên dụng cao cấp nhất thuộc hệ thống đường ống siêu sạch (Ultrapure Piping System). Chế tạo hoàn toàn từ vật liệu Perfluoroalkoxy (PFA) có tính trơ hóa học tuyệt đối, các dòng van PFA HPRAY đáp ứng yêu cầu vận hành trong các môi trường khắc nghiệt như hệ thống cấp hóa chất bán dẫn (CDS), module khắc axit (wet etching), quang khắc và dây chuyền xử lý bùn mài cơ hóa học (CMP).

Danh Mục Chủng Loại Và Quy Cách Van PFA HPRAY

Hệ thống van PFA HPRAY cung cấp đầy đủ các cấu hình điều khiển từ thủ công đến tự động hóa khí nén và tinh chỉnh điện:

• Van màng khí nén thân vuông (Square Pneumatic Diaphragm Valve):
  • Phiên bản tiêu chuẩn: Kích thước 1/8" - 1".
  • Phiên bản chịu nhiệt độ cao (High-Temp Type): Kích thước 1/8" - 1".
  • Phiên bản cỡ lớn (Big Size): Kích thước 1-1/4" - 1-1/2".
• Van màng thân tròn phi kim (Pneumatic Round Diaphragm Valve - Non-Metallic Type): Cấu trúc loại bỏ hoàn toàn các chi tiết kim loại, kích thước 1/8" - 1".
• Van màng khí nén chuyên dụng cho bùn mài CMP (Pneumatic Diaphragm Valve for CMP Slurry): Thiết kế chống đóng cặn và chống tắc nghẽn dòng hạt, kích thước 1/4" - 3/4".
• Van màng vận hành thủ công:
  • Van màng tay quay thân vuông tiêu chuẩn: Kích thước 1/8" - 1".
  • Van màng tay quay thân vuông chịu nhiệt độ cao: Kích thước 1/8" - 1".
  • Van màng tay gạt thân vuông (Toggle Manual Square Diaphragm Valve): Kích thước 1/8" - 1".
  • Van màng tay quay thân vuông kích thước lớn (Big Size): Kích thước 1-1/4" - 1-1/2".
• Hệ thống van kiểm soát áp suất PFA:
  • Van giảm áp khí nén (Pneumatic Pressure Reducing Valve): Kích thước 1/4" - 3/4".
  • Van điều áp khí nén (Pneumatic Pressure Regulating Valve): Kích thước 1/4" - 3/4".
  • Van duy trì áp suất khí nén (Pneumatic Back Pressure Valve): Kích thước 1/4" - 3/4".
  • Van an toàn tay (Manual Pressure Relief Valve): Kích thước 1/4" - 3/4".
• Van điều tiết lưu lượng tinh chỉnh:
  • Van điều tiết lưu lượng tinh chỉnh tay (Manual Precision Flow Control Valve): Kích thước 1/4" - 1/2".
  • Van điều tiết lưu lượng tinh chỉnh điện (Electric Precision Flow Control Valve): Kích thước 1/4" - 1".
• Van chức năng chuyên dụng khác:
  • Van chống hút ngược (Suck Back Valve): Kích thước 1/4" - 3/4".
  • Van một chiều PFA (PFA Check Valve): Kích thước 1/4" - 1-1/4".

Năng Lực Chế Tạo Và Tiêu Chuẩn Phòng Sạch Của HPRAY

Các dòng van PFA HPRAY được nghiên cứu và chế tạo tại tổ hợp nhà máy chuyên dụng của hãng:

• Năng lực sản xuất van PFA của nhà máy đạt sản lượng trên 500.000 bộ mỗi năm.
• Toàn bộ quá trình gia công ép phun, lắp ráp cơ học, kiểm tra rò rỉ khí nén và đóng gói 2 lớp đều diễn ra trong phòng sạch Class 10.000 (ISO 14644-1 Class 7) rộng hơn 5.000 m² và phòng sạch Class 100 (ISO 14644-1 Class 5) rộng 400 m².
• Nhà máy vận hành theo các tiêu chuẩn quốc tế ISO 9001, ISO 14001 và ISO 45001.
• HPRAY là thành viên SEMI và Liên minh Đổi mới Linh kiện Vi mạch Tích hợp Trung Quốc (ICCIA), vinh dự nhận các giải thưởng hợp tác từ các tập đoàn thiết bị bán dẫn lớn như NAURA, ACM, S.C Exact Equipment, NexChip.

Đặc Tính Kỹ Thuật Và Ưu Thế Vận Hành Trong Môi Trường Bán Dẫn

Dòng van PFA đóng vai trò thiết bị đầu não trong việc kiểm soát các dòng hóa chất độc hại và độ tinh khiết cao:

• Trơ hóa học hoàn toàn: Kháng hầu hết các môi chất ăn mòn mạnh nhất ở nhiệt độ cao như axit flohydric (HF), axit sunfuric (H2SO4), axit nitric (HNO3) và hỗn hợp dung môi quang khắc.
• Thiết kế dòng chảy không điểm chết (Dead-leg Free): Khoang thân van được tối ưu hóa biên dạng dòng chảy, hạn chế sự đọng hóa chất, ngăn chặn sự lắng kết hạt mài trong ứng dụng bùn mài CMP.
• Độ tinh khiết và thôi nhiễm cực thấp: Giảm thiểu tối đa việc giải phóng ion kim loại và chỉ số TOC vào nguồn hóa chất siêu tinh khiết.
• Van chống hút ngược chuyên dụng (Suck Back Valve): Ngăn chặn hiện tượng giọt hóa chất nhỏ giọt ở đầu vòi phun sau khi ngắt van, đảm bảo độ chính xác tuyệt đối trong các công đoạn phủ keo quang khắc (coater) và rửa wafer.
• Cấu hình phi kim loại (Non-Metallic Type): Loại bỏ chi tiết ốc vít hay lò xo kim loại lộ ra ngoài, tránh nguy cơ ăn mòn điện hóa và giải phóng ion kim loại vào buồng máy phòng sạch.

Khuyến Nghị Kỹ Thuật Khi Lắp Đặt Và Vận Hành

Để tối ưu hóa độ bền và đảm bảo an toàn tuyệt đối khi vận hành van PFA trong phòng sạch, kỹ thuật viên cần tuân thủ:

1. Kiểm tra cổng kết nối: Xác định đúng kiểu kết nối của thân van (loại cài ống Sleeve-Insert hoặc nong ống Flared) để sử dụng phụ kiện và dụng cụ siết cờ lê chuyên dụng tương ứng.
2. Áp suất khí nén điều khiển: Cấp khí nén điều khiển cho van màng khí nén phải là khí sạch khô (CDA - Clean Dry Air) không chứa dầu và hạt bụi, duy trì trong dải áp suất tiêu chuẩn theo khuyến cáo của nhà sản xuất.
3. Lắp đặt van mài CMP: Khi lắp đặt van chuyên dụng cho bùn mài CMP, cần bố trí van theo đúng phương thẳng đứng hoặc nghiêng theo chỉ dẫn kỹ thuật để tránh hiện tượng lắng tụ hạt mài khi dừng cấp dịch.
4. Cân chỉnh lưu lượng: Với van điều tiết lưu lượng tinh chỉnh tay hoặc điện, thực hiện xoay núm điều chỉnh từ từ kết hợp theo dõi đồng hồ đo lưu lượng, không dùng lực vặn quá giới hạn hành trình ren.

Thông Tin Liên Hệ Tư Vấn Kỹ Thuật & Đặt Hàng

SDT Group hỗ trợ tư vấn chọn lựa model van PFA HPRAY phù hợp nhất với điều kiện áp suất, nhiệt độ và tính chất hóa chất của từng dự án. Quý khách hàng vui lòng liên hệ:

CÔNG TY TNHH HỖ TRỢ PHÁT TRIỂN CÔNG NGHỆ SDT

Hotline/Zalo: 0936168393

Email: support@sdt.com.vn