Van Tổ Hợp & Cụm Manifold PFA Gia Công Theo Yêu Cầu HPRAY: Tối Ưu Hóa Không Gian Và Điều Khiển Phức Hợp Ngành Bán Dẫn

Van và cụm Manifold gia công theo yêu cầu HPRAY (Customized Valves & Manifolds) do SDT Group (Công ty TNHH Hỗ Trợ Phát Triển Công Nghệ SDT) cung ứng tại Việt Nam là nhóm giải pháp điều khiển lưu chất chuyên sâu. Thay vì sử dụng các cụm van rời nối tiếp bằng nhiều phụ kiện trung gian tốn diện tích và tăng nguy cơ rò rỉ, giải pháp van tổ hợp và manifold tích hợp nguyên khối từ nhựa fluoropolymer PFA giúp tinh gọn không gian lắp đặt, đáp ứng yêu cầu đóng ngắt, phân chia và điều tiết phức hợp trong các buồng xử lý ướt (wet bench), module quang khắc, khắc axit và pha chế hóa chất điện tử.

Danh Mục Chủng Loại Van Tùy Chỉnh & Cụm Manifold HPRAY

Hệ thống van tổ hợp và thiết bị tùy chỉnh của HPRAY bao gồm các giải pháp kỹ thuật chuyên biệt:

• Van tổ hợp khí nén dạng cài (Pneumatic Combination Valve Sleeve-Insert Type): Tích hợp nhiều ngõ van độc lập trên cùng một thân PFA khối, kết nối kiểu cài ống, phục vụ phân phối đa luồng hóa chất.
• Van tỷ lệ khí nén dạng cài (Pneumatic Proportional Valve Sleeve-Insert Type): Điều khiển độ mở van theo tỷ lệ tín hiệu khí nén, dải kích thước 1/4" - 3/4".
• Van giảm áp khí nén dạng cài (Pneumatic Pressure Reducing Valve Sleeve-Insert Type): Kiểm soát hạ áp suất dòng hóa chất siêu sạch, kích thước 3/8" - 1".
• Van xả nhanh cho ống thạch anh (Quick Drain Valve for Quartz Tube): Thiết kế cổng nối chuyên biệt dùng trực tiếp cho các bồn hoặc ống thạch anh trong buồng gia nhiệt/khắc axit hóa chất.
• Van xả đáy (Drain Valve / Metering Valve): Phục vụ xả cặn hoặc định lượng hóa chất ở đáy bồn bể, kích thước 1/4".
• Van xả nhanh mặt bích (Flanged Quick Drain Valve): Kết nối mặt bích tiện lợi cho việc xả lưu lượng lớn.
• Van xả nhanh x3 (Triple Quick Drain Valve): Cấu trúc 3 cụm xả tích hợp cho phép thoát lưu chất nhanh chóng.
• Hệ manifold gia công tùy chỉnh (Customized Manifolds): Khối tích hợp phân phối lưu chất kích thước d63, gia công chính xác theo bản vẽ thiết kế cụ thể của từng hệ thống máy móc.

Năng Lực Gia Công Chính Xác Và Tiêu Chuẩn Sản Xuất Của HPRAY

Toàn bộ cụm van tùy biến và hệ manifold PFA được gia công trên nền tảng kỹ thuật công nghệ cao tại nhà máy HPRAY:

• Sở hữu trung tâm gia công cơ khí lớn và máy CNC chính xác cao trong tổng số hơn 40 cụm máy thiết bị gia công chuyên dụng.
• Phôi nhựa PFA nguyên khối được định hình và phay rãnh dẫn bằng công nghệ gia công kỹ thuật số nhằm hạn chế tối đa bọt khí và khuyết tật cấu trúc.
• Quá trình rửa sạch bề mặt bằng dung môi tinh khiết, kiểm tra rò rỉ áp suất và đóng gói thực hiện bên trong phòng sạch Class 10.000 (ISO 14644-1 Class 7) rộng hơn 5.000 m² và phòng sạch Class 100 (ISO 14644-1 Class 5) rộng 400 m².
• Nhà máy được chứng nhận hệ thống quản lý chất lượng toàn diện ISO 9001, ISO 14001 và ISO 45001.
• HPRAY là thành viên SEMI, sở hữu 17 bằng sáng chế phát minh và 21 bằng sáng chế giải pháp hữu ích.

Ưu Thế Kỹ Thuật Khi Vận Hành Trong Thiết Bị Bán Dẫn

Việc ứng dụng van tổ hợp và manifold PFA mang lại các giá trị vượt trội cho nhà chế tạo máy và đơn vị vận hành xưởng vi mạch:

• Tối ưu hóa không gian máy (Compact Footprint): Tích hợp nhiều ngõ cấp, hồi, xả trên cùng một khối thân duy nhất, giảm kích thước module van xuống nhiều lần so với lắp ghép bằng các van đơn và phụ kiện co tê truyền thống.
• Triệt tiêu nguy cơ rò rỉ: Giảm tối đa các điểm ghép nối cơ học, giảm thiểu rủi ro rò rỉ các loại hóa chất có độc tính cao hoặc axit ăn mòn nguy hiểm.
• Giảm thiểu vùng đọng lưu chất (Dead Leg): Kênh dẫn bên trong manifold được thiết kế tối ưu thủy lực học, ngăn ngừa hiện tượng tích đọng hóa chất cũ, giúp quá trình súc rửa và chuyển đổi hóa chất diễn ra nhanh chóng.
• Kháng hóa chất toàn diện: Gia công hoàn toàn từ vật liệu fluoropolymer trơ với axit flohydric (HF), axit nitric (HNO3), dung dịch kiềm và các chất tẩy rửa chuyên dụng.
• Khả năng tùy biến theo sơ đồ công nghệ: SDT Group tiếp nhận các yêu cầu thiết kế cụm manifold riêng biệt theo đúng sơ đồ P&ID và không gian lắp đặt thực tế của từng khách hàng.

Khuyến Nghị Kỹ Thuật Khi Lắp Đặt Và Bảo Dưỡng Cụm Manifold

Nhằm đảm bảo an toàn và hiệu quả vận hành, các kỹ sư cần chú ý các nguyên tắc thao tác sau:

1. Cố định giá đỡ chắc chắn: Khối manifold PFA d63 có kích thước và trọng lượng tập trung, do đó cần được gá lắp trên các giá đỡ hoặc khung gá chuyên dụng trong buồng máy để triệt tiêu tải trọng uốn tác động lên các đầu ống kết nối.
2. Kết nối ống cài đúng cữ: Với các cổng kết nối dạng cài ống (Sleeve-Insert), bắt buộc sử dụng hạt cài và dụng cụ siết rắc co đúng quy chuẩn HPRAY để bảo đảm độ kín khít cơ học.
3. Đấu nối nguồn khí nén điều khiển: Kiểm tra kỹ sơ đồ cấp khí điều khiển cho từng đầu actuator của van tổ hợp, đảm bảo nguồn khí cấp là khí nén sạch khô (CDA) với áp suất chuẩn.
4. Quy trình súc rửa định kỳ: Khi thay đổi môi chất hoặc thực hiện chu kỳ bảo trì, tiến hành xả rửa toàn bộ các khoang dẫn trong manifold bằng nước siêu tinh khiết (UPW) trước khi tháo dỡ cụm van.

Thông Tin Tư Vấn Thiết Kế & Gia Công Manifold Theo Yêu Cầu

SDT Group đồng hành cùng quý doanh nghiệp trong việc tư vấn kỹ thuật, nhận bản vẽ gia công manifold và cung cấp các dòng van tổ hợp PFA HPRAY chính hãng. Quý khách hàng vui lòng liên hệ:

CÔNG TY TNHH HỖ TRỢ PHÁT TRIỂN CÔNG NGHỆ SDT

Hotline/Zalo: 0936168393

Email: support@sdt.com.vn