Hệ Thống Thiết Bị Đo Lường, Điều Khiển & Bình Chứa PFA/PVDF HPRAY: Giải Pháp Giám Sát Lưu Chất Siêu Sạch Cho Ngành Bán Dẫn

Thiết bị đo lường, điều khiển và bình chứa chuyên dụng HPRAY (Vessel, Measurement and Control Instrumentation) do SDT Group (Công ty TNHH Hỗ Trợ Phát Triển Công Nghệ SDT) phân phối chính hãng tại Việt Nam là hệ thống thiết bị ngoại vi và giám sát thông số lưu chất độ chính xác cao. Được chế tạo từ các vật liệu polyme flo có khả năng kháng hóa chất phổ rộng, dải sản phẩm này phục vụ việc đo đạc lưu lượng, áp suất, nhiệt độ, mức chất lỏng cũng như lưu trữ hóa chất siêu tinh khiết trong các dây chuyền sản xuất chip bán dẫn, quang khắc, khắc axit (etching) và hệ thống xử lý nước siêu tinh khiết (UPW).

Danh Mục Thiết Bị Đo Lường Và Giám Sát Thông Số HPRAY

Hệ thống thiết bị đo kiểm HPRAY cung cấp các giải pháp thu thập dữ liệu thủy lực chuẩn xác trong môi trường ăn mòn mạnh:

Bộ truyền tín hiệu Pro-Transmitter 3988: Thiết bị thu nhận và hiển thị trung tâm, kết nối linh hoạt với các đầu dò cảm biến để đo lường chuẩn xác nhiều tham số chất lỏng.
Cảm biến lưu lượng dạng bánh xe quay dòng #15 (Paddle-wheel Flow Sensor): Dải đo tốc độ dòng chảy 0.3 - 6 m/s, dải kích thước đường ống áp dụng từ DN15 đến DN400, chế tạo bằng vật liệu kháng hóa chất diện rộng.
Lưu lượng kế bánh xe tích hợp 9988/818/TH: Thiết bị tích hợp đồng bộ hiển thị và đo lường trực tiếp, dải vận tốc 0.3 - 6 m/s, kích thước ống DN15 - DN50.
Lưu lượng kế dạng phao (Float Flowmeter): Dải đo lưu lượng 100 - 6000 mL/H, dải nhiệt độ làm việc 0 - 100°C, kích cỡ cổng kết nối DN20 & DN40.
Lưu lượng kế cánh quạt dòng 828E (Impeller Flowmeter): Dải lưu lượng đo 0 - 10000 mL/phút, dải nhiệt độ hoạt động -20 đến 60°C, cổng kết nối kiểu cài ống (sleeve-insert connection) DN6.
Cảm biến nhiệt độ Can nhiệt loại K (Type K Thermocouple): Dải đo nhiệt độ rộng từ 0 đến 200°C, thân bọc vật liệu chịu ăn mòn, kết nối kiểu cài ống.
Cảm biến áp suất dòng 328F & 38L: Màn hình LCD tích hợp trực quan, độ chính xác 1% FS, dải áp suất đo 0 - 1000 kPa và 0 - 10000 kPa, nhiệt độ làm việc -20 đến 60°C, cỡ cổng kết nối DN15.
Công tắc vị trí từ tính Dòng 701 (Magnetic Position Switch): Vỏ bảo vệ bằng vật liệu PVDF, dải nhiệt độ làm việc -20 đến 60°C, dùng cho giám sát vị trí đóng mở của hệ thống van.
Cảm biến đo mức từ tính 516Y (Magnetostrictive Liquid Level Transmitter): Xuất tín hiệu chuẩn công nghiệp 4 - 20mA, dải nhiệt độ làm việc -40 đến 80°C.

Danh Mục Bình Chứa, Vỏ Lọc & Phụ Kiện Buồng Thao Tác Bán Dẫn

Bên cạnh thiết bị đo, HPRAY cung cấp các sản phẩm lưu trữ và thao tác tấm wafer chuyên dụng:

Vỏ bộ lọc PFA (PFA Filter Housing): Vỏ chứa lõi lọc hóa chất chuyên dụng trong môi trường chất lỏng siêu sạch và dung môi ăn mòn cao.
Bình chứa PFA / PVDF (PFA/PVDF Vessel): Bình và bồn chứa dung môi, hóa chất tinh khiết có độ bền hóa học và độ sạch bề mặt cao.
Khay chứa Wafer (Wafer Cassette): Dụng cụ gá kẹp, lưu giữ tấm wafer trong các công đoạn nhúng rửa hóa chất và làm sạch.
Thanh phun (Spray Bar): Ống phân phối béc phun hóa chất đồng đều cho bề mặt bán dẫn trong buồng xử lý ướt.

Năng Lực Chế Tạo Và Tiêu Chuẩn Sản Xuất Của HPRAY

Các thiết bị đo lường và bồn chứa PFA/PVDF HPRAY được sản xuất dưới quy trình kiểm định nghiêm ngặt:

Quy trình lắp ráp linh kiện vi điện tử, hiệu chuẩn cảm biến và đúc khuôn bình chứa diễn ra trong phòng sạch Class 10.000 (ISO 14644-1 Class 7) rộng hơn 5.000 m² và phòng sạch Class 100 (ISO 14644-1 Class 5) rộng 400 m².
Hệ thống máy gia công cơ khí và dây chuyền lắp ráp hiện đại với hơn 40 cụm máy chuyên dụng.
Hệ thống quản lý chất lượng đạt chứng nhận quốc tế ISO 9001, ISO 14001 và ISO 45001.
HPRAY sở hữu 17 bằng sáng chế phát minh và 21 bằng sáng chế giải pháp hữu ích, khẳng định uy tín cung ứng cho các nhà sản xuất bán dẫn lớn.

Ưu Điểm Vận Hành Trong Môi Trường Công Nghệ Cao

Nhóm thiết bị đo và kiểm soát của HPRAY mang lại nhiều lợi thế kỹ thuật:

Vật liệu tiếp xúc trơ hóa học: Toàn bộ các bộ phận tiếp xúc trực tiếp với lưu chất đều làm bằng PFA, PVDF hoặc bọc fluoropolymer, chống ăn mòn bởi axit flohydric (HF), axit nitric (HNO3) và dung môi nồng độ cao.
Độ tinh khiết cao: Kết cấu giảm thiểu phát tán ion kim loại và hạt vi mô, bảo toàn cấp độ sạch cho hệ thống nước siêu tinh khiết (UPW).
Đo lường chính xác và ổn định: Cảm biến áp suất sai số thấp (1% FS), lưu lượng kế phản hồi nhanh, hỗ trợ tín hiệu dòng 4 - 20mA dễ dàng tích hợp vào hệ thống PLC/SCADA giám sát toàn nhà máy.
Chống chịu nhiệt độ linh hoạt: Dải nhiệt độ vận hành rộng (cảm biến nhiệt độ đo tới 200°C, cảm biến mức làm việc từ -40 đến 80°C), đáp ứng mọi điều kiện của quy trình công nghệ ướt.

Khuyến Nghị Kỹ Thuật Khi Lắp Đặt Và Sử Dụng

Để đảm bảo độ chính xác của phép đo và tuổi thọ thiết bị, kỹ sư thi công cần tuân thủ:

Đoạn ống thẳng cho cảm biến lưu lượng: Khi lắp đặt cảm biến lưu lượng bánh xe quay dòng #15 hoặc 9988, cần đảm bảo chiều dài đoạn ống thẳng trước và sau cảm biến theo đúng tiêu chuẩn kỹ thuật để dòng chảy ổn định, không bị xoáy cục bộ.
Lắp đặt cảm biến áp suất và mức: Tránh tác động cơ học mạnh vào màng cảm biến áp suất dòng 328F/38L trong quá trình vặn ren. Với cảm biến đo mức 516Y, lắp đặt thanh đo theo phương thẳng đứng tuyệt đối bên trong bồn chứa.
Đấu nối điện và tiếp địa: Thực hiện cấp nguồn và đấu nối tín hiệu truyền dẫn 4 - 20mA bằng cáp chống nhiễu chuyên dụng, tiếp địa vỏ đúng quy chuẩn chống tĩnh điện trong môi trường phòng sạch.
Kiểm tra định kỳ: Thực hiện kiểm định, hiệu chuẩn lại độ lệch chuẩn của các đầu đo lưu lượng và cảm biến nhiệt độ sau các chu kỳ bảo trì hệ thống.

Thông Tin Liên Hệ Tư Vấn Kỹ Thuật & Đặt Hàng

SDT Group hỗ trợ tư vấn chọn dải đo, giải pháp kết nối thiết bị đo lường và bồn chứa PFA/PVDF HPRAY phù hợp cho từng dự án. Quý khách hàng vui lòng liên hệ:

CÔNG TY TNHH HỖ TRỢ PHÁT TRIỂN CÔNG NGHỆ SDT

Hotline/Zalo: 0936168393

Email: support@sdt.com.vn